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磷烷

产品分类： 电子气体

磷烷 纯度：99.9997%

 中文名:磷烷

 中文别名:磷化氢

 英文名:phosphine

 英文别名:GAS EX-B; hydrogen phosphide; Phosphine? phosphorated hydrogen;

phosphorus hydride; Phosphorus trihydride

 CAS 注册号：7803-51-2

 分子量：34.0

 分 子 式：PH3 

 分 子 量：34.04   

 毒 性：剧毒

 摩尔质量：146.05

 CAS 登录号：2551-62-4 

 外观与性状：无色气体，有蒜臭味

 性质：无色，剧毒，易燃烧气体，带有令人生厌的大蒜味。应用于多种化学反应中

在电子气家族中，硅烷、磷烷、硼烷、砷烷应用量较大，是IC制造极为重要的原料。

其中的磷烷是半导体器件制造中的重要 N型掺杂源，同时 磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、外延 Ga P材料、离子注人工艺、MO C V D工艺、磷硅玻璃(PSG)钝化膜制备等工艺中。